据业内透露，截至第二季度，ASML EUV 设备出货总量达到 102 台，伴随着需求量的提高和客户群的扩大，预计 2 年内累计供应量将增加 2 倍以上，标志着 EUV 时代正式拉开帷幕。
据 ETNews 报道，过去四个季度，ASML EUV 设备出货总计 40 台，较之前四个季度增长了 66%ASML 今年的出货目标是 40 台左右，下半年将供应 25 台左右
ASML 扩大 EUV 设备供应响应了半导体制造业实现超微电路层的需求尽管每台设备的价格达到 1.71 亿美元，但由于其卓越的工艺成本和省时效果，可以抵消设备采购的成本业内人士指出，通过 EUV 可以降低设备成本和工艺成本，因此，在微加工领域引进 EUV 设备的企业越来越多
根据 ASML 的说法，5—7nm 逻辑半导体每个 EUV 层需要一台 EUV 设备，16nm 及以下节点 DRAM每个 EUV 层则需要 1.5—2 台设备三星电子计划，到今年下半年为止，将 14nm DDR5 DRAM 的 EUV 应用层数从 1 层增加到 5 层，SK 海力士也计划增加 EUV 应用层数，因此，预计 EUV 设备的需求将进一步增加
除了 EUV 层的增加，EUV 设备的客户群也在逐渐扩大继 2018 年三星电子首次引进 7nm 制程的 EUV 设备后，台积电和 SK 海力士也加入了 EUV 竞争美国的美光和英特尔也在推进 EUV 设备的引进，预计市场规模将进一步扩大
业界预测，EUV 时代将全面加速发展因此，ASML 计划通过增加设备供应来满足需求ASML 首席执行官 Peter Wennink 在第二季度财报会议上表示:我们计划明年将 EUV 设备的产量增加到 55 台，到 2023 年将达到 60 台两年后，市场上将有 240 多台 EUV 设备投入使用，超过了目前积累的供应量
但据观察，台积电已确保了目前供应的半数 EUV 设备台积电拥有约 50 台 EUV 设备考虑到 EUV 设备的目前由 ASML 独家供应，三星电子，SK 海力士等半导体企业很难在短时间内确保有足够的设备
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